特点：

● 四个电机独立控制刀片

● 刀片平行度进行调教

● 方便安装

● 真空兼容

规则参数：

● 开口尺寸：20x20mm

● 刀片行程：±5mm

● 分辨率：0.15μm/step

● 定位精度：1μm

● 刀片材质：钼

● 尺寸：188x173x51mm

● 重量：1.7Kg