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六自由度位移平台
六自由度位移平台可实现 X、Y、Z、α、β、Ψ运动维度调节，可带动系统进行精密位置调整。该平台设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小。
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参数：
● 运 动 维 度 ：X、Y、Z、α、β、Ψ● X、Y 行程：±12.5mm
● Z 行程: ±15mm
● X、Y 运动精度：2μm
● Z 运动精度：1.5μm
● α（绕X转动）角度：±10°
● β（绕Y转动）角度：±10°
● Ψ（绕Y转动）角度：±15°
● α、β转角精度：0.005°
● Ψ 转角精度：0.005°
● 载重：
平台水平安装可承重20kg
、平台竖直安装可承重 10kg